微機電系統Micro Electro-Mechanical System(MEMS)是一種結合電子、機械、材料、光電等技術製作而成的各種微型機電整合系統，包含整合多個機械結構與電子線路到多個晶片上。MEMS主要的產品類別大致可分為加速計、陀螺儀、壓力感測器、光通訊元件、DLP(數位光源處理)、噴墨頭，以及無線網路RF感測元件等，目前已逐漸應用在汽車胎壓量測、光通訊網路、投影機、感測網路、數位麥克風、時脈振盪器，以及包括遊戲機在內的各種產品之中，甚至在新一代記憶體技術、生物晶片、顯示技術、新興能源等。隨著物質文明的快速演進，人類正步入了一個充滿競爭與挑戰的時代；而代表微小化、多功能化及平價化的MEMS產品技術，已被公認為新世代改變人類生活面貌的主要動力之一。
在MEMS的研發及設計過程中，工程人員最困擾的莫過於微結構的動態特性和傳統的結構有根本上的差異，因此，對於微結構動態特性的確認就成為所有研發設計人員的夢想，也促成了全球高科技公司投入大量研發的動力。德國Polytec先進之非接觸雷射都卜勒技術，配合影像處理技術及分析能力，讓我們不但可以量測到結構動態特性及其整體的運動模式外，同時該定量的數位化數據，更可以補足CAE技術的不確定性，提供最佳化設計的成果。

德國Polytec近年來持續研發先進之非接觸式雷射都卜勤與白光干涉技術，已發展出針對MEMS動態和輪廓量測的多功能合一技術-Polytec MSA，配備精準的顯微鏡，再結合掃描式雷射都卜勒技術來量測離面振動(正交於物件表面)、閃頻影像顯微技術作面內位移量測(平行物件表面)，不僅是響應頻率、振形、阻尼、穩定響應和衰減時間等動態參數與結構特性；還有不論是粗糙或反射物體的高度與外型，白光干涉技術都可獲得剖面、外形、臨界尺寸和粗糙度的基本靜態參數， Polytec MSA技術可結合在一般的MEMS探針平台，適用在實驗室研發和產線上的品管應用。
繼上期活動國內研發單位對此新技術的熱烈響應，故本公司邀請在國內致力於研發MEMS(包含壓電式噴墨頭、壓電式微鏡子、微幫浦等)的鄭江河教授分享其研究成果與經驗，以及德國Polytec實務應用專家來台介紹對MEMS量測技術的各種應用。歡迎在做MEMS相關研究的各位先進踴躍參加。

~~  歡迎學界、業界的好朋友，共賞這豐富的知識饗宴 ~~

上課時間	2009/04/07 (二) 09:00 – 16:00
上課地點	新竹科學園區(報名成功者場地另行通知)
主辦單位	山衛科技股份有限公司
協辦單位	中華民國微系統暨奈米科技協會 台灣電機電子工業同業公會 財團法人國家實驗研究院晶片系統設計中心 微電聲產業聯盟
課程內容	Section1	主題	MEMS動態特性與表靜態輪廓量測與應用
		主講人	德國Polytec光學量測技術專家Dr. Georg Wirth
		內容	1.雷射都卜勒掃瞄技術基礎理論介紹  2. MEMS Out-of-plane/ In plane的變形、振動與表面輪廓量測  3. 生物晶片、半導體、懸臂梁、陀螺儀，微薄膜等光學量測技術應用
	Section2	主題	壓電致動器在微流體系統之應用與檢測
		主講人	大葉大學機械與自動化工程學系鄭江河教授
		內容	壓電噴墨頭、微泵浦、霧化器、氣泡產生器及風扇等產品之設計製作與檢測
	Section3	Polytec MSA實機量測MEMS動態特性與靜態輪廓
上課費用	本課程為山衛科技贊助(免費講座)
報名方式	1. 請於 2009/3/31(二)前傳真報名表，以便於安排資料及餐點 (報名表下載) 2. 線上報名  (請使用 Outlook Express) 3. 歡迎提供待測物，但請事先告知
相關訊息請洽詢古小姐*222/施先生*231 E-mail: demi@samwells.com; ian@samwells.com